真空传感变送规(cx-prn11)
产品详情
PRN11由差压式MEMS压电传感器和皮拉尼传感器集成组成，两个传感器在测量上实现无缝过渡。它具有集成一体的电子控制线路、数字通讯系统、模拟电压输出和作为工艺控制的两个设定点。
连续真空工艺设备通常都将真空锁作为持续抽空主腔体的界面，当真空锁处于大气压时或高真空时，需要一个独立的传动器来指示指示阀的开启方向。PRN11结合MEMS压电与皮拉尼各自的优点形成一个集成的，紧凑的组件，即实现了大气压附件高精度、快反应、高重复的压力测量，又拥有大气压到0.001Pa的宽量程，是理想的真空锁控制压强传感器。
技术参数
| 测量范围 | 1.0×10-2 ~ 1.5×10+5 Pa |
| 测量精度 |
3.0×10+3 ~ 1.5×10+5 Pa：±1% 读数（压阻段） 1.0×10-1 ~ 3.0×10+3 Pa：±5%读数（皮拉尼段） 1.0×10-2 ~ 3.0×10-1 Pa：±10%读数（皮拉尼段） |
| 重复性 | ±1% 全量程 |
| 最大耐压（绝对压力） | 2.0×10+5 Pa |
| 响应时间 | 100ms |
| 工作环境 | 工作温度：0℃~+50℃；存储温度：5℃~+85℃（不结露） |
| 信号输出 |
RS485 Modbus-RTU （非隔离），波特率9600 bps 模拟量输出0.0V~+10.3VDC,最小阻抗10Ω |
| 供电电源 | +16 VDC至+30VDC/0.5A,最大功耗1.5W |
| 真空系统连接 | 默认DN16 ISO-KF（其他需定制） |
| 重量 | 120g （标准DN16ISO-KF法兰） |
| 真空接触材料 | SS304,SS316L不锈钢，钨灯丝，可伐合金，玻璃 |
